2024年4月11日下午,位于深圳市光明区的TCL华星半导体显示工业园内,两座巨大的工厂通过空中走廊相连,厂房看上去有十层楼高,300米长。厂房内几乎见不到人,安静到寂静,所有的设备都能远程操控、自动运行,闪烁的红黄绿三色灯提示着设备的运行状态。
为了满足曝光材料的感光要求,曝光车间恒定在淡黄色的环境光中,温度和湿度则恒定在23.8摄氏度和56%。并排铺开的十台曝光机每台价值上亿元,大小相当于一个10平方米的房间。机台内的洁净度为10级,机外无尘等级为100级,相当于最高级别的洁净手术室。曝光机台的加工精度达到微米级,是头发丝的千分之一;曝光后的彩膜玻璃要与阵列状的薄膜晶体管玻璃在真空中对位贴合,误差不能超过6微米。